加勒比在线观看免费女优-国产一级一伦二伦三伦黄片-欧美日韩一区二区中文字幕高清视频-中文字幕社区电影成人

技術(shù)文章您的位置:網(wǎng)站首頁 >技術(shù)文章 > 光刻工藝中HMDS烤箱的重要作用

光刻工藝中HMDS烤箱的重要作用

更新時間:2023-05-04   點擊次數(shù):1647次

光刻工藝中HMDS烤箱的重要作用


  在集成芯片生產(chǎn)流程中,包括提純、制備、光刻、封裝。其中最關(guān)鍵的一環(huán)就是光刻。

  而光刻技術(shù)就是指集成電路制造中利用光學(xué)、化學(xué)反應(yīng)原理及化學(xué)、物理刻蝕方法,將電路圖形傳遞到單晶表面或介質(zhì)層上,形成有效圖形窗口或功能圖形的工藝技術(shù)。一般的光刻工藝要經(jīng)過硅片表面的清洗烘干、涂底(專用設(shè)備HMDS烤箱)、旋涂光刻膠、軟烘、對準曝光、后烘、顯影、硬烘、刻蝕、去除光刻膠等工序。

  在涂膠工藝中,所用到的光刻膠絕大多數(shù)是疏水的,而晶片表面的羥基和殘留的水分子是親水的,如果在晶片表面直接涂膠的話,勢必會造成光刻膠和晶片的粘合性較差,甚至造成局部的間隙或氣泡,涂膠厚度和均勻性都受到了影響,從而影響了光刻效果和顯影。



    通過HMDS烤箱將六甲基二硅氮烷(HMDS)涂到硅片表面后,通過加溫可反應(yīng)生成以硅氧烷為主題的化合物,這實際上是一種表面活性劑,它成功地將硅片表面由親水變?yōu)槭杷?,其疏水基可很好地與光刻膠結(jié)合,起到耦合的作用,再者,在顯影的過程中,由于它增強了光刻膠與基底的粘附力,從而有效地抑制刻蝕液進入掩模與基底的側(cè)向刻蝕。


分享到:

返回列表返回頂部
COPYRIGHT @ 2016 網(wǎng)站地圖    滬ICP備16022591號-1   

上海雋思實驗儀器有限公司主營產(chǎn)品:無氧化烘箱,精密熱風(fēng)烘箱,晶元烘箱,百級氮氣烤箱,無氧烤箱
地址:上海奉賢臨海工業(yè)園區(qū)818號

環(huán)保在線

推薦收藏該企業(yè)網(wǎng)站
三级视频一区二区三区| 久亚洲精品九九久久99| 一区二区三区免费在线观看视频 | 中文字幕av免费专区| 午夜麻豆影网在线观看| 国产精品亚洲精品日韩在线| 久久精品国产亚洲av品| 国产成人免费自拍一区| 日韩国产一区二区在线观看| 黑丝美女被内射视频免费观看| 中文字幕制服国产精品| 亚洲熟妇av一区二区三区| 欧美成人一区二区三区八| 亚洲少妇插进去综合网| 成人高清在线观看91| 午夜精品三级一区二区三区| 97在线资源视频播放| 国产久精品热看久品热久热| 久久亚洲综合精品少妇| 少妇特黄a一区二区三区| 91超碰这里只有精品国产| 国产亚洲一区二区精品| 久久亚洲综合精品人妻| 午夜一区二区精品视频国产 | 亚洲综合中文字幕日韩| 日韩一区二区精品网站| 啊啊…嗯嗯…用力免费观看视频 | 激情五月,开心五月深情五月| 日韩午夜电影一区二区三区| 白白色发布青青在线视频观看| 91欧美精品一区二区| 五月婷婷丁香婷婷丁香| 密臀av一区二区三区| 日日添夜夜躁欧美一区二区| 欧美精品在线高清观看| 亚洲美女插入av网络导航| 在线观看免费国产b片| 色噜噜狠狠狠久久综合一区| 国产无遮挡又黄又爽网站| 在线日韩中文字幕二区| 男女激情视频久久精品|