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HMDS鍍膜機(jī)原理和各部件分析

更新時間:2019-12-19   點(diǎn)擊次數(shù):2590次
     HMDS鍍膜機(jī)適合鍍制多種光學(xué)膜。如望遠(yuǎn)鏡、眼鏡片、光學(xué)鏡頭、冷光杯等。配置不同的蒸發(fā)源及鍍厚儀,可鍍制多種膜系,對金屬、氧化物、化合物及其他高熔點(diǎn)膜材皆可蒸鍍,并可在玻璃表面鍍超硬膜。
 
    HMDS鍍膜機(jī)是目前制作真空條件應(yīng)用為廣泛的真空設(shè)備,一般用真空室、真空機(jī)組、電氣控制柜三大部分組成,排氣系統(tǒng)采用“擴(kuò)散泵+機(jī)械泵+羅茨泵+低溫冷阱+polycold”組成。本公司專業(yè)從事HMDS鍍膜機(jī)的研發(fā)與生產(chǎn)擁有經(jīng)驗(yàn)豐富的技術(shù)團(tuán)隊(duì)及優(yōu)質(zhì)的售后服務(wù)隊(duì)伍為您解決設(shè)備在使用過程中遇到的任何問題。下面,詳細(xì)介紹真空鍍膜機(jī)的各部分組成及其工作原理。
 
    一、真空主體——真空腔根據(jù)加工產(chǎn)品要求的各異,真空腔的大小也不一樣,目前應(yīng)用的有直徑1.3M、0.9M、1.5M、1.8M等,腔體由不銹鋼" 不銹鋼材料制作,要求不生銹、堅(jiān)實(shí)等,真空腔各部分有連接閥,用來連接各抽氣泵浦。
 
    二、輔助抽氣系統(tǒng):排氣系統(tǒng)為鍍膜機(jī)真空系統(tǒng)的重要部分,HMDS鍍膜機(jī)主要有由機(jī)械泵、增壓泵(主要介紹羅茨泵)、油擴(kuò)散泵三大部分組成。此排氣系統(tǒng)采用“擴(kuò)散泵+機(jī)械泵+羅茨泵+低溫冷阱+polycold”組成。排氣流程為:機(jī)械泵先將真空腔抽至小于2.0*10-2PA左右的低真空狀態(tài),為擴(kuò)散泵后繼抽真空提供前提,之后當(dāng)擴(kuò)散泵抽真空腔的時候,機(jī)械泵又配合油擴(kuò)散泵組成串聯(lián),以這樣的方式完成抽氣動作。
 
    機(jī)械泵:也叫前級泵,HMDS鍍膜機(jī)械泵是應(yīng)用廣泛的一種低真空泵,HMDS鍍膜機(jī)是用油來保持密封效果并依靠機(jī)械的方法不斷的改變泵內(nèi)吸氣空腔的體積,使被抽容器內(nèi)氣體的體積不斷膨脹從而獲得真空。

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