無氧烘箱,智能無氧雙層烘箱可選用條形碼上傳IT后,接收由IT比對(duì)下載制程數(shù)據(jù)或直接接收IT所下載制程數(shù)據(jù)方式,系統(tǒng)并自動(dòng)將制程寫入溫控器,達(dá)到遠(yuǎn)程制程下載,避免人員制程選擇操作錯(cuò)誤問題;
小型恒溫恒濕箱,半導(dǎo)體高低溫濕熱試驗(yàn)箱可以用來確認(rèn)產(chǎn)品在溫濕度氣候環(huán)境條件下儲(chǔ)存、運(yùn)輸以及使用適應(yīng)性。
真空無氧烘箱,高溫?zé)o氧真空烤箱用于PI膠、BCB膠固化,鍵合材料預(yù)處理,ITO膜退火,PR膠排膠固化等特殊工藝。適用于電子液晶顯示、LCD、CMOS、IC、PCB板、半導(dǎo)體封裝、醫(yī)藥、實(shí)驗(yàn)室等生產(chǎn)及科研部門。
充氮烘箱,充氮潔凈烘箱適用于電子液晶顯示、LCD、CMOS、IC、PCB板、半導(dǎo)體封裝、醫(yī)藥、實(shí)驗(yàn)室等生產(chǎn)及科研部門。
全氟辛基三氯硅烷涂膠機(jī),抗粘劑PFTS烘箱主要用于納米壓印光刻(NIL)應(yīng)用,防粘涂層的制備,可用于光刻工藝中HMDS增粘劑涂膠;以及功率半導(dǎo)體,LED,MEMS,半導(dǎo)體分立器件等硅烷沉積涂膠工藝。
冷熱沖擊測(cè)試機(jī),冷熱循環(huán)氣流儀在短的時(shí)間內(nèi)(約10秒)檢測(cè)樣品因高低溫冷熱沖擊()-65℃~220℃)所引起的化學(xué)變化和物理傷害,減少測(cè)試與驗(yàn)證時(shí)間,快速提高產(chǎn)品研發(fā)和生產(chǎn)效率。廣泛應(yīng)用于通信、半導(dǎo)體、芯片、傳感器等領(lǐng)域。
快速熱處理退火爐,半導(dǎo)體RTP快速退火 爐可用于硅及其他化合物材料離子注入后的退火,硅化物形成,歐姆接觸制備以及快速氧化,快速氮化等方面。該設(shè)備具有很好的長(zhǎng)時(shí)間工作穩(wěn)定性以及快速升降溫,慢速升降溫功能