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堅膜無塵烤箱,半導(dǎo)體無塵烘箱 工業(yè)烘箱

堅膜無塵烤箱,半導(dǎo)體無塵烘箱 工業(yè)烘箱

簡要描述:

堅膜無塵烤箱,半導(dǎo)體無塵烘箱?用于高精度硅上薄膜電阻制造過程中堅膜工藝。也用于半導(dǎo)體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃等材料涂膠前的預(yù)處理烘烤、涂膠后堅膜烘烤和顯影后的高溫烘烤。

堅膜無塵烤箱,半導(dǎo)體無塵烘箱概述
       無塵烤箱?用于高精度硅上薄膜電阻制造過程中堅膜工藝。也用于半導(dǎo)體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃等材料涂膠前的預(yù)處理烘烤、涂膠后堅膜烘烤和顯影后的高溫烘烤。
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堅膜無塵烤箱特點
1、 烤箱用于半導(dǎo)體車間100級生產(chǎn)線;
2、 設(shè)備能夠?qū)崿F(xiàn)對CASETTE內(nèi)硅片烘烤工藝;
3、 全周氬焊,耐高溫硅膠破緊,SUS304#不銹鋼電熱生產(chǎn)器,防機臺本身所產(chǎn)生微塵;
4、 開機后墻體內(nèi)一直處于恒溫狀態(tài);
5、 強制送風循環(huán)方式,雙風道循環(huán)結(jié)構(gòu),溫度場分布均勻,智能P.I.D溫控系統(tǒng),得到高精度溫度控制;
?6、操做人員放入產(chǎn)品后關(guān)門,點擊開始按鈕即可一鍵完成菜單工藝,完成后伴有聲光提示。

堅膜無塵烤箱,半導(dǎo)體無塵烘箱技術(shù)參數(shù)
1、 無塵等級:Class 100;     
2、 溫度均勻度:±2℃;    
3、 溫度波動度:±0.5℃(空載);        
4、 溫控精度:±0.1℃;
5、 溫度范圍:RT+10-200/300℃;
?6、 升溫速率:?≥8?℃/min(可修改)?;
?7、 內(nèi)腔材質(zhì):SUS304#鏡面不銹鋼;
?8、 外箱材質(zhì):優(yōu)質(zhì)冷軋板噴塑或SUS304#不銹鋼;?
?9、 密封條:耐高溫氟橡膠密封條;
?10、氮氣裝置:可調(diào)式浮子流量計;
?11、安全裝置:漏電保護,超溫保護,三色提示燈等。

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