塑封固化專用潔凈烘箱采用自動(dòng)加熱的方式對(duì)其進(jìn)行保溫固化,固化溫度維持在 175℃,固化時(shí)間為 8 小時(shí)。塑封固化的主要作用是消除塑封料內(nèi)部的應(yīng)力。
上海百級(jí)潔凈烘箱用于精密電子元件、高溫烘烤、堅(jiān)膜烘烤、半導(dǎo)體元件封裝、治具干燥、銀膠固化、晶圓退火、芯片高溫測(cè)試、電子陶瓷材料無(wú)塵烘干的特殊工藝要求
高溫?zé)o氧烘箱,充氮高溫 無(wú)氧烤箱應(yīng)用于MEMS智能傳感器芯片生產(chǎn)、LCD前工段生產(chǎn)、玻璃基板等工藝中的PI(聚酰亞胺)固化,BCB聚合物、PBO高溫固化,銀膠固化,光刻膠固化,鍍金方案中感濕膜烘烤工藝,車載玻璃鍍膜后退火,硅片(晶圓)高溫退火,PCB板防氧化烘烤,氟橡膠材料厭氧烘烤工藝,電子陶瓷材料無(wú)塵烘干的特殊工藝要求