class100高溫潔凈烘箱,程控式無(wú)塵烤箱采用液晶觸摸屏溫度控制器,內(nèi)置曲線查詢、PID自整定、高溫上限報(bào)警、運(yùn)行方式:定值、程式,中、英文操作。
充氮恒溫?zé)岚?,氮?dú)飧邷丶訜崤_(tái)應(yīng)用于精密電子元件、PI、BCB膠高溫固化烘烤、銀膠固化、掩膜版烘烤、光刻膠固化、電子陶瓷材料無(wú)塵烘干的特殊工藝要求,適用于觸摸屏、晶圓、LED、PCB板、ITO玻璃等精密電子、太陽(yáng)能、新材料等行業(yè).
半導(dǎo)體光刻膠烤膠機(jī),基片烘膠臺(tái)定制支撐pin材料 邊緣支撐pin N2吹掃,無(wú)氧化烘烤 烘焙距離可調(diào)模組 真空腔體 智能型控制系統(tǒng)
雙門氮?dú)夂嫦涠ㄖ疲沙涞獰犸L(fēng)循環(huán)烘箱箱體材料:外箱采用優(yōu)質(zhì)冷軋板烤漆;內(nèi)室材料:采用SUS304#無(wú)磁性鏡面不銹鋼;
真空無(wú)氧化烤箱(BCB厭氧固化烤烘箱)是將涂敷BCB或PI的襯底放入真空無(wú)氧烘箱中,通入N2→真空置換后,采用多級(jí)升溫保溫的方式,在規(guī)定的時(shí)間從室溫升至第一溫度階段,并在該溫度段保溫1-2h,再在規(guī)定的時(shí)間從第一溫度升至第二溫度階段,并在該溫度段保溫一定的時(shí)間;隨后增通過(guò)輔助的降溫系統(tǒng)(水冷和風(fēng)冷),將退火爐的溫度降至80度左右,完成固化。