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加工半導(dǎo)體用烤箱, SECS / GEM無塵烤箱

加工半導(dǎo)體用烤箱, SECS / GEM無塵烤箱

簡要描述:

加工半導(dǎo)體用烤箱, SECS / GEM無塵烤箱用于半導(dǎo)體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃等材料涂膠前的預(yù)處理烘烤、涂膠后固化、堅膜烘烤和顯影后的高溫烘烤;也適用于電子液晶顯示、LCD、CMOS、IS、醫(yī)藥、實驗室等生產(chǎn)及科研部門;可以使用TCP / IP(使用HSMS標(biāo)準(zhǔn),SEMI E37)或基于RS-232的協(xié)議與支持GEM的主機進行通信。通常這兩種協(xié)議都受支持。每臺設(shè)備都可以使用由GEM

加工半導(dǎo)體用烤箱, SECS / GEM無塵烤箱簡介

       加工半導(dǎo)體用烤箱, SECS / GEM無塵烤箱用于半導(dǎo)體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃等材料涂膠前的預(yù)處理烘烤、涂膠后固化、堅膜烘烤和顯影后的高溫烘烤;也適用于電子液晶顯示、LCD、CMOS、IS、醫(yī)藥、實驗室等生產(chǎn)及科研部門;也可用于非揮發(fā)性及非易燃易爆物品的干燥、熱處理、老化等其他高溫試驗。

      智能無塵烤箱可以使用TCP / IP(使用HSMS標(biāo)準(zhǔn),SEMI E37)或基于RS-232的協(xié)議與支持GEM的主機進行通信。通常這兩種協(xié)議都受支持。每臺設(shè)備都可以使用由GEM的通用SECS-II消息進行監(jiān)控和控制。

特點

全周氬焊,耐高溫硅膠破緊,SUS304#不銹鋼電熱生產(chǎn)器,防機臺本身所產(chǎn)生微塵;
采用水平送風(fēng)熱風(fēng)循環(huán)系統(tǒng),風(fēng)源由循環(huán)馬達運轉(zhuǎn)帶動風(fēng)輪經(jīng)電熱器,將熱風(fēng)由風(fēng)道送至烤箱內(nèi)部,且將使用后空氣吸入風(fēng)道成為風(fēng)源再度循環(huán)加熱,省電節(jié)能溫度均勻性好,過濾效率99.99%,Class 100;
強制送風(fēng)循環(huán)方式,雙風(fēng)道循環(huán)結(jié)構(gòu),溫度場分布均勻,智能P.I.D溫控系統(tǒng),得到*溫度控制精度。

?智能制造主要指生產(chǎn)線現(xiàn)場的生產(chǎn)過程管理、現(xiàn)場監(jiān)控和控制等,包括智能工廠生產(chǎn)過程的數(shù)據(jù)采集及分析,實現(xiàn)生產(chǎn)過程、設(shè)備、資源監(jiān)控的可操作和可視化;要能支持采集不同現(xiàn)場設(shè)備數(shù)據(jù)的要求,支持將生產(chǎn)數(shù)據(jù)及設(shè)備故障信息顯示在監(jiān)控站的屏幕上,實現(xiàn)生產(chǎn)過程的動態(tài)監(jiān)控與管理;實現(xiàn)智能設(shè)備、機器人和生產(chǎn)線、用戶全流程互聯(lián)對話,實現(xiàn)人機、機機互聯(lián)下的高品質(zhì)、高效、柔性自動化生產(chǎn)等。

技術(shù)參數(shù)

無塵等級:Class 10/100/1000;     
溫度均勻度:±2℃;    
溫度波動度:±0.5℃(空載);        
溫控精度:±0.1℃;
進風(fēng)口:φ6mmN2進氣、流量計控制;
排風(fēng)口: φ3”排風(fēng)管(外接φ5"法蘭);       
電源:380v , 50Hz,
網(wǎng)板:2-5層 , 單層載重量可需承重50kg;
潔凈度:100、10級的潔凈熱處理HEPA過濾器與前出風(fēng)水平層對流循環(huán)方式實現(xiàn)并保證箱內(nèi)的溫度分布的均勻性與100/10級潔凈度。

控制器

  高性能程序控制器PF900 TOPPAGE

一目了然、直觀的顯示  
搭載了新的控制算法「RSS(升降溫?恒溫?穩(wěn)定)」  
程序程式輸出功能(多3點)  
大容量 多1024段程序  
雙模式信號輸出  
對應(yīng)各種狀況(程式終止?fàn)顟B(tài)、等待判斷等)  
綜合管理大量的設(shè)定值,存儲組功能  
程序聯(lián)合運行功能(控制器間的通信)  
前面板接口通信+程序設(shè)定工具  

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