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反轉(zhuǎn)真空烘箱  圖像反轉(zhuǎn)氨氣爐

反轉(zhuǎn)真空烘箱 圖像反轉(zhuǎn)氨氣爐

簡要描述:

反轉(zhuǎn)真空烘箱 圖像反轉(zhuǎn)氨氣爐用于鈑金加熱、淬火、退火、焊接等工藝;在電子制造業(yè)中,可以用于半導(dǎo)體器件制造中的退火和腐蝕等工藝;在航空航天制造業(yè)中,可以用于航空發(fā)動機和航天器材料的熱處理等。

反轉(zhuǎn)真空烘箱 圖像反轉(zhuǎn)氨氣爐用途


   圖像反轉(zhuǎn)(image inversion)是一種使用正膠暗場掩模版做出島區(qū)的工藝。

曝光小尺寸圖形時,傾向于使用正膠。正膠適于使用暗場掩模版做孔洞。暗場掩模版大部分被覆蓋,因為鉻不會像玻璃一樣易損,所以缺陷比拋光較少。然而,一些掩模版用來曝光島區(qū)。而不是孔洞,比如金屬層掩模版上是島區(qū)圖形。

在曝光結(jié)束后,光刻膠里的圖像與想要得到的圖像是相反的,也就是說,如果拋光接著顯影的話,會得到孔洞而不是島區(qū)。

反轉(zhuǎn)真空烘箱 圖像反轉(zhuǎn)氨氣爐性能

尺寸(可定制)

300×300×300(mm)

450×450×450(mm),可定制

  材質(zhì)

內(nèi)箱采用SUS304不銹鋼,外箱采用優(yōu)質(zhì)冷軋板靜電噴塑

溫度范圍

RT+50-200℃

溫度分辨率

0.1℃

溫度波動度

≤±1℃

操作模式

人機界面

升溫速率

≤5℃/min

氣體

2路供氣

真空度

0.1~100KPa


圖像反轉(zhuǎn)系統(tǒng) Lmage inversion Oven

       已經(jīng)在很多領(lǐng)域得到了廣泛應(yīng)用。比如,在汽車制造業(yè)中,可以用于鈑金加熱、淬火、退火、焊接等工藝;在電子制造業(yè)中,可以用于半導(dǎo)體器件制造中的退火和腐蝕等工藝;在航空航天制造業(yè)中,可以用于航空發(fā)動機和航天器材料的熱處理等。


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